至纯科技称28nm湿法工艺完成认证 明年进军14/7nm

　　日前国内半导体设备公司至纯科技在互动平台表示，目前至纯科技28纳米节点全部湿法工艺设备已认证完毕。

　　至纯科技表示，国内目前有三家在湿法工艺设备端提供中高阶湿法制程设备，分别是至纯科技、北方华创和盛美，国内厂商的市场占比在逐年上升中。

　　除了28nm工艺节点之外，上海证券报告中指出，至纯科技14nm及7nm工艺预计2022年可供客户验证，客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、台湾力晶等行业领先者。

　　2020年湿法设备出货量超过30台，新增订单5.3亿元，增长211.8%。

　　官网介绍，至纯科技成立于2000年，是一家在上交所上市的高新技术企业，证券代码603690.SH。

　　公司坐落于上海紫竹这个国家级科学园区内，注册资本2.08亿元，致力于为高端先进制造业企业提供高纯工艺系统的解决方案。

　　系统解决方案涵盖了提供整个系统的设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务。 至纯提供的系统和专业服务，广泛应用于半导体、微电子、生物医药、光伏、光纤、TFT-LCD、LED等领域。